近日,Graphenea公司推出了全球首个石墨烯晶圆代工服务- GFAB。 该公司将在6英寸的石墨烯晶圆上加工定制集成电路。 该服务旨在实现快速设备原型设计并加速新应用的开发,降低基于石墨烯的集成电路解决方案的进入壁垒。
近日,Graphenea公司推出了全球首个石墨烯晶圆代工服务(GFAB)。 该公司将在6英寸的石墨烯晶圆上加工定制集成电路。 该服务旨在实现快速设备原型设计并加速新应用的开发,降低基于石墨烯的集成电路解决方案的进入壁垒。
Graphenea表示,鉴于市场需求,该报价现在包括小批量(1-3个晶圆)的加工业务。光刻掩模可由Graphenea制造或由客户提供。石墨烯晶圆代工服务 (GFAB)包括石墨烯生长、在4“和6”晶片上的转移、金属接触沉积和剥离、以及石墨烯光刻。
金属触点在石墨烯边缘上制成,以获得最佳性能,由Ni / Al制成。可获得的最小特征尺寸为5μm。价格中也包含切割。基板可以是标准的Si / SiO2晶片,或客户所需的任何定制基板(与该过程中使用的化学品和温度相容)。
这些设备通过了Graphenea对所有样品实施的严格质量控制,包括拉曼光谱、光学显微镜和电气测试。这种石墨烯代工服务是全球市场上的第一个类似服务,是石墨烯商业化拓展的决定性步骤。
GFAB是该公司提供的石墨烯薄膜价值链的一个补充,该代工服务迄今为止包括在铜上生长石墨烯、转移(使用PMMA涂层)、转移到标准或定制基板、并图案化成GFET用于传感器。