基本信息
张军琴 博士 副教授/硕导
硕士学科：微电子学与固体电子学
工作单位：微电子学院
联系方式
通信地址：西安电子科技大学微电子学院373信箱
电子邮箱：zhangjq@mail.xidian.edu.cn
办公电话：029-88202579
办公地点：老科技楼A-705
个人简介
张军琴：女，副教授，博士，西安电子科技大学微电子学院硕士生导师。分别于2000年、2003年在西北大学获得工学学士学位与理学硕士学位；2009年3月获得西安电子科技大学微电子学与固体电子学专业博士学位。于2011年6月至2012年7月在美国加州大学伯克利分校（University of California，Berkeley ）进行访问。
主要从事三维集成电路互连技术、半导体光电子器件与集成技术等方面的研究工作。主持和参与了国家自然科学基金项目、*科研项目*等项目的研究工作。相关研究成果发表在《Chinese Optics Letters》、《半导体学报》、《中国激光》等学术期刊上。
主要研究方向
（1）基于三维集成电路的互连技术
（2）半导体光电子器件与集成技术